企業名：　東京エレクトロン九州（株）　（とうきょうえれくとろんきゅうしゅう） 代表者名： 林　伸一 設立年月日： 1991年4月 本社所在地： 〒861-1116 熊本県合志市福原1-1 事業所在地： 〒861-1116 熊本県合志市福原1-1 作業員数： 1578 人 担当者： 金尾 淳二（かなお じゅんじ） 資本金： 2000 百万円 売上高： - 百万円 取引先： TEL： 096-349-5509 FAX： 096-349-5501 URL： http://www.tel.co.jp/tkl/ カテゴリ： [半導体・FPD製造・検査装置（一貫）] PR： 製品紹介等の詳細内容は弊社Homepageを参照ください。 【担当者（公開窓口）】   担当者： 金尾 淳二 所属・部署： 管理部 役職： 総務・経理担当部長 連絡先： 096 -349 -5509 E-mail： junji.kanao@tel.com       製品名：　コータ/デベロッパ, SPS（洗浄装置）,FPDコータ/デベロッパ 製品説明： コータ/デベロッパ 東京エレクトロンのコータ／デベロッパCLEAN TRACKシリーズは、ワールドクラスの高いパフォーマンスと信頼性を有し、最先端の露光装置にも対応した200mmおよび300mmウェーハ用レジスト塗布現像装置です。また、コータ／デベロッパCLEAN TRACK ACTシリーズのプラットフォームを採用した低誘電率の層間絶縁膜を、塗布方式で成膜するSODコータもあわせて提供しています。 SPS（洗浄装置） 東京エレクトロンのサーフェスプレパレーションシステム（SPS、洗浄装置）は、高いプロセス性能と信頼性を追及した、200mmプロセスおよび300mmプロセスに対応するサブクォーターミクロンプロセス量産ライン向けのウェットステーションです。トランジスタ形成工程／配線工程における膜付け前後の洗浄、エッチング後の残渣、レジスト剥離の洗浄に用いられる装置を開発しています。 FPDコータ/デベロッパ フラットパネルディスプレイ（FPD）は、次第にその活用される範囲が拡大しており、今後の成長が期待できる産業の一つとなっています。東京エレクトロン九州では、FPDコータ/デベロッパの開発、製造を行っています。 【この企業の他関連　製品・サービス・技術】

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