企業名: 東京エレクトロン九州(株) (とうきょうえれくとろんきゅうしゅう)
代表者名: 林 伸一
設立年月日: 1991年4月
本社所在地: 〒861-1116
熊本県合志市福原1-1
事業所在地: 〒861-1116
熊本県合志市福原1-1
作業員数: 1578 人
担当者: 金尾 淳二(かなお じゅんじ)
資本金: 2000 百万円
売上高: - 百万円
取引先:
TEL: 096-349-5509 FAX: 096-349-5501
URL: http://www.tel.co.jp/tkl/
カテゴリ: [半導体・FPD製造・検査装置(一貫)]
PR: 製品紹介等の詳細内容は弊社Homepageを参照ください。

【担当者(公開窓口)】  
担当者: 金尾 淳二
所属・部署: 管理部
役職: 総務・経理担当部長
連絡先: 096 -349 -5509
E-mail: junji.kanao@tel.com
 

   

製品名: コータ/デベロッパ, SPS(洗浄装置),FPDコータ/デベロッパ
製品説明:コータ/デベロッパ
東京エレクトロンのコータ/デベロッパCLEAN TRACKシリーズは、ワールドクラスの高いパフォーマンスと信頼性を有し、最先端の露光装置にも対応した200mmおよび300mmウェーハ用レジスト塗布現像装置です。また、コータ/デベロッパCLEAN TRACK ACTシリーズのプラットフォームを採用した低誘電率の層間絶縁膜を、塗布方式で成膜するSODコータもあわせて提供しています。

SPS(洗浄装置)
東京エレクトロンのサーフェスプレパレーションシステム(SPS、洗浄装置)は、高いプロセス性能と信頼性を追及した、200mmプロセスおよび300mmプロセスに対応するサブクォーターミクロンプロセス量産ライン向けのウェットステーションです。トランジスタ形成工程/配線工程における膜付け前後の洗浄、エッチング後の残渣、レジスト剥離の洗浄に用いられる装置を開発しています。

FPDコータ/デベロッパ
フラットパネルディスプレイ(FPD)は、次第にその活用される範囲が拡大しており、今後の成長が期待できる産業の一つとなっています。東京エレクトロン九州では、FPDコータ/デベロッパの開発、製造を行っています。


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